Чистота – залог нанотехнологий

Чистота – один из главных элементов успешного использования технологий XXI века. Ни микроэлектроника, ни нанотехнологии невозможны без специальных помещений, так называемых чистых комнат

.

.

• Это тот случай, когда микроэлектронное производство требует макропомещений, буквально нашпигованных уникальным оборудованием и аппаратурой. На выходе – фотошаблоны с минимальным размером топологии элементов 0,35 микрон – в несколько раз тоньше человеческого волоса. До недавнего времени их закупали за рубежом.

«Сейчас мы можем обеспечить себя фотошаблонами уровня 0,35 микрон. Это на сегодняшний день закрывает практическое большинство задач как гражданского, так и военного назначения», – отметил Владимир Бартенев, заместитель генерального директора ОАО «Мосэлектронпроект».

.

В подмосковном городе электронщиков – Зеленограде – запущен центр по производству фотошаблонов. Это целый комплекс инженерных систем водяного, воздушного и температурного контроля. Специальное здание проектировала и специальная организация – «Мосэлектронпроект», входящая в холдинг «Российская электроника» госкорпорации «Ростехнологии».

Так называемые чистые комнаты – основа микроэлектронного производства. Сюда невозможно попасть не то что постороннему – ни одна пылинка не проникнет. Абсолютная стерильность и строжайший контроль.

• «Основным загрязнителем, в том числе, и при этом производстве, является человек. 35% загрязнения идет от человека. Поэтому изделие надо защитить от человека», – сказал Владимир Бартенев.

.

.

• Здесь производят деионизированную воду. Ощущение такое, как будто работает турбина самолета. Процесс непрерывный. Вода очищается так тщательно, что становится просто бесценной. По трубам в чистые комнаты поступает воздух, который проходит четырехступенчатую очистку. Получается идеально чистая воздушная смесь, но с допуском – несколько субмикронных пылинок в литре воздуха. Для сравнения, в обычной жилой комнате их миллионы. Однако дышать таким чистым воздухом трудно – организм непривычен к такой стерильности.

За час воздух полностью меняется четыреста раз. Через отверстия в потолке он нагнетается в помещение и тут же уходит в фальшпол. Так создается ламинарный поток, позволяющей и комнате, а главное, работающему в ней человеку, сохранять в прямом смысле идеальную чистоту.

«Когда открывается окно, то все остальные окна, двери, если они присутствуют в том или ином помещении, блокированы, не дают возможности доступа», – пояснил Николай Окунский, технический директор ОАО «Мосэлектронпроект».

.

После долгого застоя микроэлектроника в России набирает обороты. Уже сейчас наши ученые достигли уровня производства в 0,35 микрон. Впереди высота в 0,18 и менее – именно такова мировая планка. Собственная микроэлектроника – это не только вопрос престижа. Теперь не стоит бояться шпионских жучков и опасных закладок в чипах.

«Одна из основных причин  – сохранение безопасности своей страны. Самое главное, если речь идет о военных изделиях, – мы не можем передавать, потому что в процессе производства фотошаблонов и потом производства микросхем могут появиться закладки, которые могут в любой момент отключить серьезное изделие оборонного значения», – рассказал Владимир Бартенев.

.

.

У отечественной электронной промышленности – огромные задачи. Так, планируется достичь топологического размера наночипа – 45 нанометров. Это самый современный стандарт мировой микроэлектроники. Для сравнения, кровяная клетка человека в четыреста раз больше.

Наталья Бурцева

http://www.vesti.ru/doc.html?…