Чистые комнаты - основа современных технологий

Чистота – залог нанотехнологий

Чистота – один из главных элементов успешного использования технологий XXI века. Ни микроэлектроника, ни нанотехнологии невозможны без специальных помещений, так называемых «чистых комнат»

.

Это тот случай, когда микроэлектронное производство требует макропомещений, буквально нашпигованных уникальным оборудованием и аппаратурой. На выходе – фотошаблоны с минимальным размером топологии элементов 0,35 микрон – в несколько раз тоньше человеческого волоса. До недавнего времени их закупали за рубежом. Подробнее об этом рассказывает Владимир Бартенев – заместитель генерального директора ОАО «Мосэлектронпроект»:

  • «Сейчас мы можем обеспечить себя фотошаблонами уровня 0,35 микрон. Это на сегодняшний день закрывает практическое большинство задач – как гражданского, так и военного назначения».

Недавно в подмосковном городе электронщиков Зеленограде запущен Центр по производству фотошаблонов. Это целый комплекс инженерных систем: водяного, воздушного и температурного контроля. Специальное здание проектировала и специальная организация «Мосэлектронпроект», входящая в холдинг «Российская электроника» госкорпорации «Ростехнологии».

.

  • Так называемые «чистые комнаты» – основа микроэлектронного производства. Сюда невозможно попасть не то что постороннему – ни одна пылинка не проникнет. Абсолютная стерильность и строжайший контроль.

«Основными загрязнениями при производстве является человек, 35 процентов загрязнения идет от человека, поэтому изделие надо защитить от человека», – продолжает Владимир Бартенев.

  • Здесь производят деионизированную воду. Ощущение – будто работает турбина самолета. Процесс непрерывный. Вода очищается так тщательно, что становится просто бесценной.

По трубам в «чистые комнаты» поступает воздух, который проходит четырехступенчатую очистку. Получается идеально чистая воздушная смесь, но с допуском – несколько субмикронных пылинок в литре воздуха. Для сравнения – в обычной жилой комнате их – миллионы. Однако дышать таким чистым воздухом трудно – организм не привычен к такой стерильности.

.

  • За час воздух полностью меняется 400 раз. Через отверстия в потолке он нагнетается в помещение и тут же уходит в фальш-пол. Так создается ламинарный поток, позволяющей комнате, а главное, работающему в ней человеку, сохранять в прямом смысле идеальную чистоту.

«Когда открывается окно, то все остальные окна, двери, если они присутствуют в том или ином помещении, блокированы и не дают возможности доступа», – поясняет технический директор ОАО «Мосэлектронпроект» Николай Окунский.

После долгого застоя микроэлектроника в России набирает обороты. Уже сейчас наши ученые достигли уровня производства в 0,35 микрон. Впереди – высота в 0,18 и менее – именно такова мировая планка.

Собственная микроэлектроника – это не только вопрос престижа. Теперь не стоит бояться шпионских «жучков» и опасных закладок в чипах.

.

«Одна из основных причин – это сохранение безопасности своей страны, – говорит Владимир Бартенев. – И самое главное, если речь идет о военных изделиях, мы не можем передавать, потому что в процессе производства фотошаблонов и микросхем могут появиться закладки, которые могут в любой момент отключить серьезное изделие оборонного значения».

  • В стратегии развития отечественной электронной промышленности до 2025 года определены огромные задачи. В 2015 году топологический размер элемента на наночипе достигнет 45 нанометров. Увеличатся и капиталовложения в реконструкцию, и техническое перевооружение российской микроэлектроники. Планируется восстановить более 90 производственных объектов, что позволит выпускать самые современные полупроводниковые изделия.

Наталья Бурцева

http://www.vesti.ru/doc.html?…

Помню, в своё время (ещё при премьере А.Н.Косыгине) тогдашний министр электронной промышленности Александр Иванович Шокин («отец» прообраза советской «Силиконовой долины» – Зеленограда) изо всех сил боролся за то, чтобы во все основополагающие документы (в том числе и в доклады Косыгина) вошло определение электроники как «базовой» отрасли. Так это было важно. Она и по сути была базовой. И на то время – одной из самых передовых. В последние десятилетия «базовыми» стали так называемые «сырьевые» отрасли. Всё это время наши ресурсы подпитывали зарубежных производителей электронных изделий. А отечественная электроника – как самостоятельная отрасль – влачила жалкое существование, что мы и видим по полкам наших магазинов. И лишь угроза безопасности страны подвигла нынешних руководителей пересмотреть это положение. Догонять в любом деле – очень тяжёлый и очень затратный путь. И сколько средств, времени и сил уйдёт на этот процесс «поднятия с колен» и выхода на современный уровень развития, это, как говорят англичане, зависит…