НЭМС (наноэлектромеханические системы) англ. NEMS – электромеханический комплекс с исполнительными узлами нанометровых размеров.

Нэмс, в первую очередь – различные осцилляторы и колебательные контуры. Также распространено использование НЭМС в составе оптических переключателей. За НЭМС видят будущее развития механических компьютеров, миниатюризацию логических узлов, памяти. Особое внимание ученые уделяют лабораториям-на-чипе, которые можно сконструировать на базе НЭМС.

Пример НЭМС осциллятора

Используя методы литографии, стало возможным создание автономных объектов в кремнии и других материалах с толщиной и длиной менее 20 нанометров (нм). Похожими методами можно изготовить каналы или поры молекулярных размеров. Что позволит получить доступ в новый экспериментальный режим и ожидать новых применений таких устройств для считывания (сканирования) и молекулярного взаимодействия. Используя НЭМС-технологию, мы можем ожидать появления высоко функциональных сенсоров, атравматичных медицинских диагностических устройств и сверх емких устройств для хранения информации.