Зеленоградский «Микрон» завершил разработку собственной технологии создания микросхем по топологии 65 нанометров. Весной предприятие планирует начать серийное производство собственных разработок, а в конце года — заказов сторонних разработчиков.

Предыдущие технологии — 180 и 90 нм — «Микрон» покупал у французской компании STMicroelectronics, но за 65 нм взялся сам при финансовой помощи государства. «Микрон» сэкономит на покупке лицензии, а государство получит независимость от зарубежных технологий, хотя ключевое оборудование всё равно закупается за рубежом.

Уменьшение размера микросхем приводит к большей производительности, меньшему энергопотреблению. Разработка технологии заняла около двух лет, в декабре получили первые работающие тестовые кристаллы, в марте установят оборудование, необходимое для серийного производства, а в апреле начнут делать микросхемы собственной разработки.

Сторонние дизайн-центры получат правила проектирования под новое производство к сентябрю и это позволит запустить их разработки в «серию» до конца 2014 года, считают на «Микроне».

Кому надо

Одним из первых заказчиков нового производства может стать зеленоградский «Элвис», который уже выпускает на «Микроне» чипы по технологии 90 нм и больше, но свои разработки по меньшим размерам (в том числе 65 нм в совместном проекте с «Роснано» по видеоаналитике) вынужден размещать на зарубежных фабриках. «Мы очень хотим, чтобы всё производство было в России», говорил раньше Zelenograd.ru представитель «Элвиса».

На «Микроне» рассказали, что заказы у них также готовы размещать компании «МЦСТ» (разрабатывает вычислительные модули и микропроцессоры) и НИИМА «Прогресс» (разрабатывает оборудование ГЛОНАCC и микросхемы для спецприменения). «Мы предоставляем дизайн-центрам адекватный сервис и постепенно подводим их к тому, чтобы они могли производить у нас и разрабатывать на базе нашей технологии изделия, особенно для внутреннего рынка, при этом работая на опережение», рассказывал раньше Zelenograd.ru руководитель «Микрона» Геннадий Красников.

Микросхемы с топологическим размером 65 нм — одни из самых востребованных на мировом рынке, они используются во множестве изделий микроэлектроники, говорят эксперты, опрошенные газетой «Ведомости». Но успех такого производства зависит от рынка сбыта — чем он шире, тем ниже себестоимость, так что все зависит от стратегии продвижения и маркетинговой политики «Микрона». Вопрос не столько в размере чипов, сколько в успешности бизнес-модели.

Мало только продолжать осваивать новые технологии в рамках своей бизнес-модели, говорит Дмитрий Бычков, эксперт зеленоградского дизайн-центра «КМ211», который недавно стал официальным представителем в России крупнейшей микроэлектронной фабрики TSMC. Для игроков растущего рынка российской микроэлектроники важно решение целого клубка проблем, стоящих между запросами потребителей и заветными нанометрами: от опций техпроцесса — до процентов выхода годных, корпусировки и ритмичности производственных процессов. Интерес российских дизайн-центров к новому производству «Микрона» зависит от того, какие опции техпроцесса 65 нм готов предложить «Микрон» конечным потребителям. Практика показывает, что техпроцесс начинается с «голой цифры», подходящей, например, для скоростной логики, памяти и процессорных блоков. Бычков уверен, что опыт освоения технологии 90 нм позволит «Микрону» быстрее запустить производство новых 65-нм полупроводниковых приборов.

Первое серийное изделие по 65-нм технологии будет довольно простым — это универсальная память ОЗУ емкостью 16 Мб (100 млн транзисторов), используемая в различных вычислительных системах. Её производство позволит хорошо оценить процент выхода годных изделий, передает Cnews.ru слова Красникова. Потом планируется освоить в серийном производстве другие логические и аналогово-цифровые полупроводниковые приборы, в том числе со встроенной памятью: процессоры и микропроцессоры, ЦАП/АЦП, программируемая матричная логика и другие.

Существенно и то, что новое производство находится «рядом» с российскими разработчиками, считает Бычков. Это имеет особое значение при производстве по госзаказам, когда важны детали их исполнения, и наоборот, при крупносерийном производстве, когда играет роль защита рынка таможенными пошлинами.

Кто заплатил

На разработку технологии 65 нм на «Микроне» потратили в общей сложности три миллиарда рублей, рассказал представитель предприятия Алексей Дианов. Платил сам «Микрон» и государство. На оборудование и инфраструктуру каждая сторона потратила около миллиарда, на научно-исследовательские и опытно-конструкторские разработки (НИР и ОКР) государство потратило около 350 млн рублей, а «Микрон» — 650 млн.

Создание опытного производства и разработка базовых технологий изготовления специализированных больших интегральных схем, в том числе технологии изготовления комплементарных полевых транзисторных структур до уровня 65 нм предусмотрено федеральной целевой программой «Развитие электронной компонентной базы и радиоэлектроники на 2008 — 2015 годы». Начиная с 2012 года «Микрон» выполняет четыре ОКРа, непосредственно связанных с разработкой технологии 65–45 нм по контрактам с Министерством промышленности и торговли. Это разработка базовой технологии для изготовления самих интегральных схем, технологической платформы и фотошаблонов, а также изготовления цифро-аналоговых СБИС для RF приложений. Общая сумма по этим контрактам — 635 млн рублей. Кроме того, государственный контракт на технологию создания кремниевых эпитаксиальных структур для микросхем 65–32 нм за 110 млн рублей исполняет зеленоградская компания «Эпиэл», которая располагается на территории «Микрона».

Что дальше

Для нового производства 65 нм используется в основном существующая линия 90 нм на пластинах диаметром 200 мм — пришлось докупить лишь несколько единиц технологического оборудования. После отработки технологии «Микрон» будет формировать портфель заказов на новую технологию. Расширение производства на новой фабрике с диаметром пластин 300 мм (место под неё зарезервировано на площадке «Алабушево» зеленоградской Особой экономической зоны) по-прежнему под вопросом.

«Фабрика на пластинах 300 мм должна строиться, когда имеешь поставки под эту продукцию, — говорил год назад Геннадий Красников. — Поэтому мы хотим быстро сделать 65 нанометров на пластинах 200 мм, набрать критическую массу заказов и затем переносить отработанную технологию на новое производство, имея уже под него заказы».

Наберётся ли заказов на новую фабрику — неизвестно.

А пока «Микрон» продолжает осваивать новые технологии. В декабря предприятие подписало контракт с Минпромторгом на выполнение исследования технологии литографии для уровня 45 нм. Финансирование по контракту — 318 млн рублей, срок исполнения — ноябрь 2015 года.