Федеральная служба по интеллектуальной собственности РФ включила разработку сотрудников лаборатории №1 Института физики высоких технологий «Способ синтеза наноалмазов и наноразмерных частиц карбида кремния в поверхностном слое кремния» в список «100 лучших изобретений России»

Патентообладатель — Томский политехнический университет — награжден дипломом Роспатента.

Авторами разработки являются:

• заведующий лабораторией №1, профессор Геннадий Ремнев,
• научный сотрудник лаборатории Андрей Степанов,
• младший научный сотрудник Максим Салтымаков.

Способ синтеза наноалмазов и наноразмерных частиц карбидов в поверхностном слое кремния путем ионной имплантации углерода в поверхность кремниевой мишени относится к области технологии изготовления наноструктур. Изобретение может быть использовано при получении новых материалов для микро- и оптоэлектроники, светодиодных ламп, силовой электроники и других областей полупроводниковой техники.