Ученые разработали простой «рецепт» изготовления текстурированных микрочипов

-->

Создание сверхтонких бороздок и выступов, формирующих наноразмерные сетки на поверхности современных микрочипов – одна из ключевых задач в современном микроэлектронном производстве. Однако инженеры из Принстона смогли упростить эту задачу.

Им удалось открыть простой и дешевый метод формирования решеток и параллельных линий с периодом 60 нанометров на поверхности микрочипа. Это открытие будет крайне важно в различных оптических приборах и электронных устройствах, в основном для точного расположения жидких кристаллов в дисплеях.

Как говорит Стивен Чу (Stephen Chou), профессор из Принстонского Университета (Princeton University), разработанный учеными метод в корне отличается от всех современных технологий создания наношаблонов и наноструктур.

Суть метода состоит в том, что вначале на подложку (например, на кремниевую вафлю) наносят тонкую полимерную пленку. Затем на верх пленки размещают такую же подложку, таким образом формируется «бутерброд» с полимерной пленкой внутри.

После этого «бутерброд» нагревают до тех пор, пока не наступит его адгезия со второй подложкой, и тут обе подложки разводят в разные стороны. При этом полимерная пленка тоже частично рвется, формируя комплементарные сетчатые структуры на обеих подложках.

Метод производства наноструктурРис. 1. Метод производства наноструктур

Этот метод назвали структурирование, вызванное разрывом (fracture-induced structuring). Как оказалось, период между линиями в четыре раза больше, чем толщина первоначальной пленки-полимера.

Простота метода поразила исследователей. Для того, чтобы сделать то же самое с помощью нанолитографии, нужно сперва «прочертить» бороздки электронным лучом или нанометровым пером. Естественно, в таком случае возможны погрешности, да и сам метод нанолитографии гораздо сложнее.

Преимущества нового метода также состоит в том, что он оперирует площадями в несколько квадратных сантиметров. При этом ученые надеются на дальнейшую разработку и оптимизацию этой технологии с целью увеличения площади полученных наноструктур.

Теперь ученые хотят детально разобраться в фундаментальных процессах, происходящих при воздействии различных сил на объекты в наноразмерном диапазоне.

Свидиненко Юрий

Пожалуйста, оцените статью:
Пока нет голосов
Источник(и):

PhysOrg: Scientists develop low-cost recipe for patterning microchips



Anonymous аватар

Ну что за пренебрежение, вначале словарем (квантовые кораллы http://www.nanonewsnet.ru/…no-iskusstvo), потом здравым смыслом при переводе. Что такое кремниевая вафля??? Рекомендую посмотреть в словарь, а не пользоватся переводчиком фрагментов текста. Там хотя бы несколько значений предлагается, одно из которых подставляется потом исходя из контекста. Если же это должен делать читатель, то пожалуйста:

First, a thin polymer film is painted onto a rigid plate, such as a silicon wafer. Вначале на твердую пластину, такую как (например) кремниевая подложка, нанесли тонкую полимерную пленку.

Не верите? Проверяйте:

http://www.multitran.ru/c/m.exe?… (см. все варианты перевода) http://www.multitran.ru/c/m.exe?… (уже устоявшееся выражение, находится в виде словосочетания в словарях, а не переводчиках)

Ну и напоследок можно вбить silicon wafer в почти любой переводчик текста – вот там и «провафлит» он вам. Потому что ему все равно что переводить, и смысл текста ему тоже не важен.

Если уж и претендуете на что-то, то пожалуйста, не провафлите таким образом то что уже наработано.

Svidinenko аватар

Вообще-то любая критика предполагает знание предмета. С 80-х годов в слэнге микроэлектронщиков появился термин вафля – «silicon wafer», коим они обозначали круглые (диаметром от 20 до 30 см)диски монокристалла кремния, на которых производили отдельные БИС. Выбор слова вафля не случаен – это игра слов, т.к. диск после изготовления был похож на обычную вафлю из-за квадратов микросхем. Затем вся пластина раскалывалась на отдельные кусочки, которые по кулинарной аналогии назвали «чипсами» – от этого и пошло современное слово чип. В тексте имели ввиду именно этот диск-заготовку монокристалла кремния, называемый вафлей, поэтому я так и перевел.

Так что не волнуйтесь – не провафлили ;)

Sapienti sat.

Anonymous аватар
Sapienti sat
Для зануды не достаточно :)

Игра слов она в английском языке, в русский эта игра слов не переносится, Multitran выдает перевод этого словосочетания без других вариантов с лингвистическими изысками, википедия при смене языка статьи silicon wafer на русский выдает ссылку на статью «подложка». Яндекс находит около 25000 страниц на кремниевую подложку и 536 на кремниевую вафлю (часть пишет как кремниевая «вафля», в кавычках). В ряде случаев перевод «вафля» упоминается как разг. термин (даже без слово кремниевая). А так же я еще нашел забавную ссылку (просьба не принимать на свой счет :) так как я уже не против этого термина как жаргонного или разговорного) http://www.3dnews.ru/…newswriters/

Цитата оттуда

Впрочем, если говорить о терминологии, зачастую упоминаемой в новостях Intel, как тут не припомнить классический курьёз начинающего «ньюсрайтера», который впервые в жизни видит термин Silicon Wafer. Когда-то это было действительно смешно – когда очередной новичок выдавал «силиконовые вафли» вместо «кремниевых пластин», а сейчас остаётся только рыдать от таких горе-«ньюсрайтеров».
Anonymous аватар

Кстати, на русской странице сайта производителя вафельных изделий (www.ibm.ru) запрос «вафля» – ни одной ссылки, запрос «подложка» и «пластина» – в сумме около 20 ссылок.

Anonymous аватар

Простите, но насколько я понял из оригинала статьи речь идет об обычных, плоских и не имеющих на себе никакого рисунка пластинах кремния. И что самое удивительное – так это самомодуляция по толщине и дистанции создающихся полос, расстояние (дистанция) между которыми в четыре раза (почему в 4, а не в 3 или в 5 раз) превышает толщину оригинала. То есть для упомянутых 60 нм требуется 15-ти нм пластик. Я понял так, что они его еще и продавливают для прилипания. Смысл такой – берем две плоских сковородки (фритюрница), а между ними блин. Давим и получим жареную нанолапшу, причем идеальную по толщине и ширине. Если нужно наночипсы, то повернем на 90 градусов и повторим.

Anonymous аватар
получим … нанолапшу

как тонко подмечено :) Игра слов :)

На самом деле наночипсы там не получают, получают периодические линии полимера (в литографии обычно называемого резистом) на микрочипе, 60 нанометровый наночип не нужен, на нем и один транзистор с трудом разместить можно. Кроме того при повороте на 90 градусов и повторном придавливании потеряется рельеф от первого этапа.

Кстати чего то меня не убедила простота метода по сравнению с другими. Почему то приводяться не самые быстрые и дешевый методы литографии фокусированного электронного(ионного) пучка. А оптическаяя литография, с помощью которые прцессоры сейчас штампуют в гигантских количествах, как то упущена из виду (хотя процесс тоже не такой уж длительный, а позволяет получать куда более сложные структуры. Маска же под данную задачу будет наипростешая). Та же самая nanoimprint литография. Там тоже можно сразу продавливать материал резиста, одним этапом, при гораздо большем разнообразии структур (задаются целиком формой шаблона-маски). Причем все это вроде как менее чувствительно к равномерному по толщине нанесению (или спрессовыванию) резиста. И гораздо более крутые по результатам нежели параллельные полосочки в лабораторных условиях. А если уж и сравнивать с процарапыванием или прорисовыванием рисунка на резисте, то это так и до сравнения картин с покрашенной в полосочку стенкой можно дойти, красить легче. Разумеется здесь авторы работ выбрали выгодное освещение сравнив с одними из самых затратных существующими методами.

Anonymous аватар
Простите, но насколько я понял из оригинала статьи речь идет об обычных, плоских и не имеющих на себе никакого рисунка пластинах кремния.
Рисунок на кремнии есть, но он связан не с модификацией кремния (например протравливание, окисление или допирование), а с рельефом создаваемым струтурированным (например тем же разрывом) полимером на плоской поверхности кремния. Дальше с ним ничего не делали, то есть это не конечный продукт, а освоение новой методы для одного из этапов изготовления чего -либо.
Svidinenko аватар

Да, подмечено точно – метод годится только для создания сеток или полосок. Что-то более сложное сделать будет трудно, если не невозможно. А в качестве подготовительного этапа производства ЖК-панелей, думаю, пригодится.

Anonymous аватар

Простите, но так никто из высказавшихся не понял самого главного, хотя это и переведено. «Теперь ученые хотят детально разобраться в фундаментальных процессах, происходящих при воздействии различных сил на объекты в наноразмерном диапазоне.» А ведь самое главное – это наномеханика разрушения тонких пленок – образование разрыва, трещины, и наиболее важное – модулирование источников образования разрыва. Кто-нибудь когда-нибудь видел такой универсальный резак, который может как Фреди Крюгер Тысячепалый раскромсать нанокогтями face 15-ти нм пленки? К сожалению, материал не описывает открывания фритюрницы, способа и матриала изготовления пленки и других деталей и технологий. Поэтому его не стоит вообще рассматривать серьезно. То есть я, лично, в это не верю.

Anonymous аватар

По поводу работ переводчиков этого сайта. Хотелось бы отослать понимающих к моему комментарию на перевод более ранней статьи «Наножидкости не выдерживают проверки» здесь же на этом форуме и добавить. Переводчик перед тем как браться за перевод, вне зависимости от величины гонорара, должен быть СПЕЦИАЛИСТОМ в переводимой области, а в применении к нанотехнологиям иметь физическое образование и физическое (не химическое!), а не гуманитарное мышление. К сожалению, не только экспертный, профессиональный, но даже уровень здравого смысла в переводах иностранных статей не усматривается.

Anonymous аватар
Простите, но так никто из высказавшихся не понял самого главного, хотя это и переведено.
Почему же так категорично? Просто не написали. Потому что первоисточника реального нет. Может быть при написании новости (на английском) не учли что у них, у ученых, есть предположения но нужно разобраться детально? Кроме того в статье говориться про эффект, пусть может и не исследованный детально, но имеющийся в наличии (надеюсь что воспроизводимый, но опять не проверить, первоисточника я не видел). Оспорено было только возможность супер-применения этого эффекта.

Оспаривать же сам эксперимент без ссылки на первоисточник как то странно, потому как нет оснований как верить этому, так и не верить, ведь такое вполне может быть, мало кто-бы стал описывать полностью виртуальный эксперимент. Ну а настолько подробно, что бы были указаны воспроизводимость, интервалы толщин (при которых наблюдается эффект), площадь упорядочения, возникающие дефекты, зависимость от спрессовывания, температуры и т.д. причем подтверждено это было различными методами исследования, то получиться совершенно другой формат, неуместный в науч-популярных наноновостях. А так – получили что-то, придумали где это применить (обязательно свергнув старую «невыгодную и медленную» методику), и сказали что будут дальше над этим работать в сторону улучшения, все это без подробностей, с одной картинкой – вот уже и новость. Что касается эффекта, лично меня он не заинтересовал в том плане, в каком этого хотел автор (применеие в производстве, вытеснение литографии).