С её помощью удалось создать нанопросветы в 0,99 нм — самые узкие изо всех, произведённых человеком на сегодня.

Совместив несколько технологий создания наноустройств, учёные из Кореи и США, ведомые Сан Хюн Охом (Sang-Hyun Oh) из Сеульского университета, получили весьма многообещающие результаты: им удалось создать металлическое покрытие с повторяющимися нанопросветами на 100-миллиметровой кремниевой подложке.

Самые узкие просветы были всего в нанометр шириной (до сих пор ни одна научная группа такого не добивалась). По сути, их ширину удалось проконтролировать на атомарном уровне.

Рис. 1. Слева направо, сверху вниз: первый металлический слой создаёт схему, второй закрывает первый и позже удаляется одним рывком клеящей ленты. (Иллюстрация UM).

Для чего всё это? Благодаря сверхмалой ширине в зазоры удаётся поймать световые волны, по размерам значительно превосходящие сами просветы — в сотни и даже тысячи раз. Таким образом, интенсивность светового пучка в нанометровом просвете увеличивается на момент прохождения до 600 млн раз.

Применённая технология, а это атомно-слоевая литография, по словам исследователей, исключительно пригодится при создании сенсоров повышенной чувствительности, а также при разработке особо производительных электронных и фотонных устройств.

Необычно и то, что важную роль в создании нанотехнологии сыграл… скотч — клеящая лента, столь хорошо знакомая труженикам канцелярий и господам Гейму и Новосёлову (графен!).

Чтобы получились сверхмалые зазоры, сверхтонкий металлический слой покрывал по шаблону кремниевую подложку. А затем на просветы напылялся тонкий слой другого металла. В норме именно удаление последнего становится главной трудностью: первый слой функционален, а второй лишь контролирует границы первого. Но чтобы схема заработала, второй слой нужно снять, не задевая первого, что просто так не сделать. Его-то и удаляли с помощью вездесущего скотча, добиваясь просветов в рекордный нанометр.

Плохо лишь то, что ни о каком массовом производстве, когда в одной из операций техпроцесса фигурирует нелепый, вообще говоря, скотч, говорить не приходится. Зато на серьёзные исследования в лаборатории мы надеяться вправе. И если масштабирование технологии всё-таки состоится (а иначе и быть не может), то речь может идти об электронике совершенно иного уровня, чем та, что доступна землянам сегодня.

Отчёт об исследовании опубликован в журнале Nature Communications.