Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие

.

Авторы: Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И.

Тип: учебное пособие

Предмет: нанотехнологии

Класс: ВУЗ , Специалисту

Серия: Нанотехнологии

Издательство: БИНОМ. Лаборатория знаний

Год издания: 2010

Формат: 60×90/16 (в пер.)

Страниц: 283

ISBN: 978–5–9963–0032–7

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем.

• Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.

Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Цена: 275.00

http://www.lbz.ru/…nija-v-mikro