В эпоху Интернета Вещей и дополненной реальности все более необходимой вещью становятся носимые прозрачные и гибкие дисплеи. Однако для их создания предстоит найти решения ряда существенных проблем, не последние среди которых — низкая прозрачность и плохая электропроводность известных прототипов. Самый логичный выход заключается в совмещении высокопроизводительной неорганической электроники и прозрачных синтетических пленок в качестве подложки, но тонкие органические материалы крайне нестабильны при высоких температурах, требующихся для обработки традиционных полупроводников.

Решением проблемы может стать метод ILLO (Inorganic-based Laser Lift-Off), разработанный в Корейском продвинутом институте науки и техники (KAIST) и успешно опробованный при создании сверхтонких и прозрачных оксидных тонкопленочных транзисторов (TFT) для активно-матричных схем управления гибким дисплеем.

Исследовательская команда изготовила быстродействующий оксидный TFT-массив на отбрасываемой лазер-реактивной основе. После облучения лазером тыльной стороны подложки от неё отделялся только TFT-массив, который переносили на сверхтонкую (толщина 4 мкм) пластиковую плёнку. Затем, в демонстрационных целях, полученную управляющую схему гибкого дисплея прикрепили к поверхности человеческой кожи.

Оптическая прозрачность созданного устройства составляла 83%, а мобильность достигала 40 см²/В с даже после нескольких циклов интенсивного сгибания-разгибания.

«Наш процесс ILLO позволяет преодолеть технологические барьеры на пути к высокопроизводительным прозрачным и гибким дисплеям относительно малой ценой, благодаря отказу от дорогостоящих полиамидных подложек, — заявил руководивший работой профессор факультета материаловедения KAIST Кеон Дже Ли (Keon Jae Lee). — Более того, высококачественный оксидный полупроводник очень просто перенести на что-то наподобие кожи или на любую другую гибкую основу для носимых приложений».

В 2014 году этот же коллектив продемонстрировал применение ILLO для создания гибкой резистивной памяти и пьезоэлектрического наногенератора. Новому исследованию посвящена статья, опубликованная в июльском номере Advanced Functional Materials.