MEMS: микроэлектромеханические системы. Обзор
Наномир на данный момент является своего рода фронтиром – передним краем науки, который пока еще только покоряют ученые-пионеры. А вот микромир уже достаточно давно освоен и в нем вовсю идет строительство. Пожалуй, самым впечатляющим типом микроструктур, которые создаются людьми, являются MEMS – микроэлектромеханические системы.
NNN публикует обзор типов и применений MEMS подготовленный Алексеем Дрожжиным
В обзоре рассмторены:
- Датчики движения
- Датчики давления
- Цифровые микрозеркальные устройства
- Струйные принтеры
- MEMS-транспортеры
- MEMS-двигатели: турбины , паровые и электрические двигатели, насосы
- Приводы
- Технологии изготовления MEMS
Автор: Алексей Дрожжин
- Источник(и):
- Войдите на сайт для отправки комментариев