Ученым из Канады удалось разработать новую технику производства матриц металлических нанонитей на кремниевых основах.

Как говорят ученые, новая технология полимерной обработки позволит наносить проводники на интегральные схемы с большей точностью и более компактно.

Фактически, это означает очередной шаг в миниатюризации кремниевой электроники. Также новая технология будет востребована в производстве разнообразных наносенсоров и наноэлектромеханических устройств.

Джиллиан Буряк (Jillian Buriak) и ее коллеги из Университета Альберты (University of Alberta), Канада, смогли наносить на кремний полимерные слои с разрешением до 20 нанометров. Традиционная фотолитографическая техника на сегодняшний день оперирует с разрешениями от 100 нанометров, поэтому полимерный метод, разработанный учеными, достаточно привлекателен для микроэлектронного производства.

Рис. 1. Формирование нанонитей и плазменная обработка

Ученые смогли нанести на кремниевую положку ряд тонких (до 15 нанометров в поперечном сечении) линий из PS-P2VP полимера, которые образовались с помощью самосборки.

Далее, Буряк и ее коллеги химически металлизовали отдельные домены полимера P2VP, затем, добавив кислоты к полимерной структуре, ученые добились формирования из доменов нанонитей. Затем полимер был удален с помощью плазменной обработки, а нанонити сформировались цельной наноструктурой на поверхности кремния.

После проведения плазменной обработки, ученые получили матрицу нанопроводников шириной всего 10 нанометров, что, естественно, очень хорошо для микроэлектронных компонентов.

На сегодняшний день исследователи получили матрицы нанонитей из платины, золота и палладия. Джиллиан уверена, что полимерная технология производства может распространяться на другие металлические материалы, в том числе и магнитные сплавы.

Свидиненко Юрий