С 1 по 5 октября 2007 года состоится Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2007» (ICMNE-2007)и совместный Симпозиум «Квантовая информатика» (QI-2007) в подмосковном пансионате «Липки», г. Звенигород.

Тематика докладов

• Материалы для микро- и наноэлектроники. Кремний на изоляторе. Напряженный кремний, кремний-германий
• Микро- и наноэлектронные технологии и оборудование
• Суб-100нм литография: ГУФ, ЭУФ, электронная и ионная литография, импринт. Квантовая литография
• Тонкие пленки. High-k и Low-k диэлектрики. Металлические затворы
• Плазменные процессы
• Имплантация
• Эпитаксиальный рост. МВЕ
• Мониторинг технологических процессов и детектирование момента их окончания в микро- и нанотехнологиях
• Характеризация микро- и наностркутур
• Моделирование технологических процессов и микро- и наноэлектронных приборов
• Развитие микро- и наноэлектронных приборов. Нанотранзисторы: МДП, одноэлектронные
• Квантовые эффекты в наноэлектронных приборах
• Магнитные микро- и наноструктуры. Наномагнетики
• Сверхпроводниковые микро- и наноприборы и устройства
• Молекулярная наноэлектроника
• Микро- и наноэлектромеханика

Организаторы и спонсоры конференции:

• Российская академия наук (РАН).
• Отделение информационных технологий и вычислительных систем
• Научный совет «Фундаментальные проблемы создания элементной базы информационно-вычислительных и управляющих систем»
• Министерство образования, науки и инноваций РФ. Управление информационных технологий
• Российский фонд фундаментальных исследований
• The International Society for Optical Engineering (SPIE), SPIE Russia Chapter
• Физико-технологический институт РАН (ФТИАН), Москва, Россия
• Московский государственный университет им. Ломоносова (МГУ), Россия
• Автономная некоммерческая организация «Учебно-научный центр МГУ-ФТИАН»
• Тихоокеанская академия материалов
• Фраунгоферовский институт интегральных систем и развития технологии, Эрланген, ФРГ
• Институт физики полупроводников РАН, Сибирское отделение, Новосибирск, Россия
• Московский институт электронных технологий (ТУ МИЭТ), Зеленоград, Россия и др.

Контактная информация:

Лукичев Владимир Федорович – зам. председателя Оргкомитета ICMNE-2007

Физико-технологический институт (ФТИАН) Российская Академия наук 117218 Москва, Россия Нахимовский просп., 34

Тел.: +7 (495) 129–54–92 Факс: +7 (495) 125–38–26 E-mail: lukichev@ftian.oivta.ru

Тарасов Станислав Михайлович – член Секретариата ICMNE-2007

Физико-технологический институт (ФТИАН) Российская Академия наук 117218 Москва, Россия Нахимовский просп., 34

Тел./Факс: +7 (495) 331–20–55 E-mail: tarasov@ftian.oivta.ru

Руденко Константин Васильевич – ученый секретарь ICMNE-2007

Физико-технологический институт (ФТИАН) Российская Академия наук 117218 Москва, Россия Нахимовский просп., 34

Тел./Факс: +7 (495) 129–56–08

E-mail: icmne2007@ftian.oivta.ru

Сайт конференции: http://www.icmne.ftian.ru