Центр «Нанотехнологии в электронике»

Центр «Нанотехнологии в электронике» открыт в ГОУ ВПО «Московский институт электронной техники (технический университет)» в 2005 году как подтверждение лидирующих позиций МИЭТ в области наноэлектроники. Центр тесно взаимодействует с Учебно-научным центром «Зондовая микроскопия и нанотехнология», созданным при участии компании «НТ-МДТ» в 1999 г. на базе лаборатории туннельной микроскопии и нанотехнологии.

Руководитель центра Неволин Владимир Кириллович, доктор физико-математических наук, профессор кафедры квантовой физики и наноэлектроники

Приоритетными научными направлениями исследований Центра являются: зондовая микроскопия, зондовая нанотехнология, поиск новых методов и материалов для создания элементов наноэлектроники.

Направления исследований ЦКП НЭ

Нанотрубки

Более полувека кремний символизирует интеллектуальную мощь человечества, облаченную во множество различных «железок» и проводов. Ученые твердят, что кремниевая технология имеет свой предел и по мощности нарастающих вычислений и по энергоемкости. Однако что сможет его заменить в будущем?

Нанотрубки являются новым материалом, который, возможно, станет альтернативой кремнию при производстве элементов электроники.

Углеродные нанотрубки являются относительно молодым открытием. Наука имеет дело с ними с 1991 года. Однако за это время удалось их достаточно изучить, чтобы не удивляться уникальным свойствам. Известные распространенные формы углерода: графит и алмаз – дали собрату свои лучшие свойства, но усиленные в десятки и сотни раз. С одной стороны, это проводимость, превышающая проводимость меди, и сорбционная способность, лучшая, нежели у активированного угля, с другой – прочность, не сравнимая с лучшими сортами стали…

…В ЦКП НЭ занимаются исследованием «баллистического транспорта на основе квазиодномерных структур» более десяти лет: основное внимание сфокусировано на электрических характеристиках проводников с размерами в сечении порядка одного нанометра. Однако, модельными объектами ранее являлись различные органические молекулы и металлические сужения в тонких пленках. Так, еще в 1989 году наблюдалась квантовая природа проводимости наноразмерных органических проводников при комнатной температуре, тогда как ранее подобные измерения проводились только при температуре ниже –200ºС.

Уже воплощенные или находящиеся на стадии внедрения проекты связаны с использованием нанотрубок в композитных материалах повышенной прочности, а также в источниках излучения (плоских дисплеях).

В России нанотрубки также уверенно занимают лидирующие позиции в приоритетных направлениях исследований ученых. Однако, предпочтение российские ученые отдают в основном исследованию сорбционных свойств нанотрубок, в том числе, изучая возможные механизмы использования их в качестве топливных ячеек для хранения водорода. Разработкой электронных приложений занимается ограниченное количество научных групп…

(Подробнее см. здесь: http://nanotube.ru/…dovania.html )

Используемое оборудование

• Установка роста углеродных нанотрубок CVDomna
• Лабораторный комплекс Nanofab 100
• Лабораторный комплекс для создания элементов наноэлектроники методами локального анодного окисления
• Лабораторный комплекс для создания элементов наноэлектроники на основе углеродных нано трубок
• Лабораторный комплекс для проведения критических измерений
• Лабораторный комплекс для исследования и создания элементов наноэлектроники на различных структурах
• Лабораторный комплекс для контроля и исследования (ВАХ)
• Измерительный микроскоп микроинтерферометр МИИ-4
• Научная учебная лаборатория по нанотехнологии

Класс NanoEducator

В классе NanoEducator проходится первичный курс обучения специалистов по зондовой микроскопии. Класс укомплектован 5ю лабораторными комплексами СЗМ NanoEducator. Также проводятся обучающие лабораторные занятия по разным направлениям:

• Введение в нанотехнологии
• Изучение основ СЗМ
• Получеение практических навыков работы на СЗМ NanoEducator
• Получение навыков работы в АСМ и СТМ режимах
• Получение начальных навыков силовой и электрической литографии

Краткая историческая справка

Одними из первых в России был построен сканирующий туннельный микроскоп, предназначенный для проведения технологических экспериментов (а.с. № 1471232 от 14.07.87). В 1989 г. было показано наличие квантования проводимости при комнатной температуре в квазиодномерных вертикальных проводниках. В 1993 году построен туннельный технологический микроскоп ТТМ-2, позволяющий получать атомное разрешение структур.

Созданы уникальные элементы наноэлектроники на основе полимерных, металлических и углеродных нанопроводов. В настоящее время Центр активно работает в области исследования свойств углеродных нанотрубок и элементов наноэлеткроники на их основе.

Заточка кантилеверов методами травления (До и После)

УЧЕБНО-НАУЧНЫЙ ЦЕНТР «ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ И НАНОТЕХНОЛОГИЯ»

Центр создан 25 марта 1999 г. при непосредственном участии компании «НТ-МДТ» (ген. директор В.А. Быков) на базе лаборатории туннельной микроскопии и нанотехнологии как самостоятельное подразделение в составе факультета электроники и компьютерных технологий.

Центр оснащен двумя сканирующими туннельными микроскопами собственного изготовления ТТМ-2, тремя атомно-силовыми микроскопами Solver Р47 компании «НТ-МДТ», а также измерительно-вычислительным комплексом. В центре, который возглавляет профессор Неволин В.К., проводится обучение студентов старших курсов и аспирантов по новым направлениям и специальностям.

Читаются курсы «Методы зондовой микроскопии», «Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии», «Элементная база наноэлектроники: квантовопроводные элементы». Проводятся ознакомительные мастер-классы по методам зондовой микроскопии и нанотехнологии с демонстрационными лабораторными работами. Учебно-научный центр (УНЦ) проводит:

1. Обучение студентов на сканирующих туннельных микроскопах (СТМ) путем проведения индивидуальных лабораторных работ;
2. Cтажировку аспирантов и содействие им в проведении научно-исследовательских работ.

Научные исследования в учебно-научном центре проводятся по зондовой микроскопии, зондовой нанотехнологии, по разработке, созданию и исследованию квантовопроводных элементов наноэлектроники. Проводятся теоретические исследования по квантовому транспорту пространственно локализованных частиц.

http://www.miee.ru/struct/29/

Центр сотрудничает с предприятиями и лабораториями при МИЭТ (завод «Протон», ГНЦ «Технологически центр», Лаборатория электронной микроскопии, кафедра общей химии и др.), что позволяет проводить комплексные и форсированные исследования по научным направлениям Центра.

Почтовый адрес

124498, Москва, К-498, МГИЭТ(ТУ), ЦКП «Нанотехнологии в электронике»

E-mail: vkn@nanotube.ru

http://nanotube.ru/

Вот одна из отечественных «кузниц кадров», открытая при Зеленоградском учебном институте МИЭТ. Далеко не самом престижном и известном. Но близость к производству (компания НТ-МДТ, завод «Протон», ГНЦ «Технологически центр») и лабораториям (Лаборатория электронной микроскопии, кафедра общей химии и др.) делает её положение абсолютно уникальным. Здесь студенты и аспиранты имеют прямой доступ и к новейшему оборудованию (как учебному, так и производственному), к специалистам-производственникам, которые могут также преподавать им и демонстрировать научные факты и сведения на «живом», действующем оборудовании. Я думаю, что ввиду предстоящего значительного расширения работ по нанотехнологии в нашей стране, будут расширены и усилены возможности Центра в области подготовки квалифицированных кадров в данной области. Успехов им на этом пути!..