Новая технология литографии с разрешением 25 нанометров
Друзья, с момента основания проекта прошло уже 20 лет и мы рады сообщать вам, что сайт, наконец, переехали на новую платформу.
Какое-то время продолжим трудится на общее благо по адресу
На новой платформе мы уделили особое внимание удобству поиска материалов.
Особенно рекомендуем познакомиться с работой рубрикатора.
Спасибо, ждём вас на N-N-N.ru
Создана технология литографии с разрешением 25 нанометров
Массачусетский технологический институт в лице Марка Шаттенберга и Ральфа Хелманна подарил миру надежду на скорое распространение нового метода литографии для индустрии нанотехнологий. Метод отличается тем, что позволяет получать с помощью травления периодические структуры на подложке размер которых может составлять всего 25 нанометров. Самые передовые технологии, которыми пользуются гиганты индустрии микропроцессоров, позволяют в наши дни работать с размерами от 65 нанометров.
Dr. Mark Schattenburg
Dr. Ralf Heilmann
Технология, разработанная бостонскими специалистами и их подопечными студентами, не только позволяет уже сегодня получать периодические наноструктуры с размером, анонсированным традиционными методиками лишь к 2015 году. Она существенно проще и дешевле в реализации, а потому может вдохнуть вторую жизнь в наноразработки многих университетов, чахнущих в лабораториях, не имеющих могучей финансовой поддержки.
- Новая технология получила название сканирующей лучевой интерференционной литографии (scanning-beam interference lithography, SBIL). Она базируется на известной технологии интерференционной литографии, которую ученые дополнили применением своей собственной разработки, названной нанолинейкой. Технология подразумевает использование звуковых волн с частотой 100 МГц для контроля, дифракции и частотного сдвига волны лазерного излучения, создающего литографический рисунок на поверхности подложки.
В результате можно быстро, легко, дешево и очень точно осуществлять литографию даже очень больших поверхностей.
- Разработчики, представившие свои достижения для публикации в следующем номере журнала Optic Letters и на 52-й ежегодной Международной конференции по электронным, ионным и фотонным лучевым технологиям и нанопроизводству в американском городе Портленде. Они уверены, что их технология позволяет добиться предельного разрешения литографии, и дальнейшее уменьшение элементов нанострструктур будет лимитироваться неровностями материала подложки.
http://www.gazeta.ru/…241161.shtml
Nanoscale Lithographic Technology: Finer Lines For Microchips
http://www.sciencedaily.com/…08124353.htm
MIT reports finer lines for microchips
http://www.nanotech-now.com/news.cgi?…
Да уж… Получение размерностей всего 25 нанометров, в то время как самые передовые технологии, которыми пользуются гиганты индустрии микропроцессоров, позволяют в наши дни работать с размерами от 65 нанометров. Это круто! Если этот факт подтвердится, то это станет сенсацией и огромным прорывом в области нанотехнологий!.. Надо бы и нашим специалистам подсуетиться в данном вопросе. А то потом уже не догонишь…
- nikst's блог
- Войдите на сайт для отправки комментариев
25 нм: кто меньше?
Американские ученые нашли способ существенно уменьшить размер микросхем
Новая технология даст возможность производить микросхемы с размером элементов в 25 нм. Это большой шаг вперед, если вспомнить, что только в прошлом году компания Intel перешла с 65-нм технологического процесса на 45-нм процесс. 32-нм процессоры в Intel планируют выпустить в 2009 году. А 25 нм – это еще на одну ступень ниже.
Институт запатентовал данный способ и, по словам Хейльманна, некоторые производители (он не уточнил, кто именно) уже проявляют к нему интерес.
Пошли другим путем
В технологии применяется наноуровневая литография, позволяющая нанести на микросхему еще более мелкую сеть линий, из которых складываются цепи схемы. В традиционном методе оптической литографии для переноса шаблона сетки на схему используется свет. Чтобы расположить линии сетки ближе друг к другу, производители микросхем пытались использовать более короткие длины волн.
Исследователи из MIT пошли по другому пути. Вначале они с помощью длинноволнового света наносят на схему сетку с масштабом 200 нм. А затем тот же самый шаблон просто немного сдвигается, по нему наносятся новые линии, а пространство между ними делится пополам. Процесс повторяется несколько раз, и масштаб сетки доводится до 25 нм.
Ускорение вместе с уменьшением
Работа над проектом велась в Лаборатории космических нанотехнологий Института астрофизики и исследований космоса им. Кавли Массачусетского технологического института. Финансовую поддержку работе оказали NASA и Национальный научный фонд (National Science Foundation).
Шэрон Годин
http://www.osp.ru/…/27/5228795/