Физические основы кремниевой наноэлектроники : учебное пособие для вузов

Автор : Зебрев Г. И.

.

Тип: учебное издание

Предмет: нанотехнологии

Класс: ВУЗ

Серия: Нанотехнологии

Издательство БИНОМ. Лаборатория знаний

Год издания: 2011

Страниц: 240

ISBN: 978–5–9963–0181–2

Цена: 200.00

Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм.

• Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».

http://www.lbz.ru/…iki-uchebnoe