Создана высокоточная литографическая установка

-->

Ученые из Университета Принстона (Princeton University) разработали простой метод создания наноразмерных шаблонов на шероховатых поверхностях без обычных жестких требований к отсутствию вибрации и кислорода при производстве.

Новый метод производства наноструктур оперирует линиями и точками, – поясняет один из ученых, профессор Крэйг Арнольд (Craig Arnold).

Инновация состоит в методе фокусирования лазерного луча – роль линзы играет пластиковый шарик, плавающий в воде. Сфокусированный луч затем выжигает на микрочипе нужные исследователям наноструктуры.

Щит-эмблема Принстонского УниверситетаРис. 1. Щит-эмблема Принстонского Университета, нарисованный учеными (масштаб метки – 2 мкм)

Фактически Крэйг и его коллеги «пишут» лазерным лучом по заготовке – расстояние между ней и фокусирующим шариком не меняется. Это очевидное преимущество перед современными литографическими системами, в которых из-за шероховатостей поверхности не всегда получается достичь точного «выжигания» наноструктуры.

Ученые уверены, что новая литографическая система пригодится нанотехнологам, работающих с производством сложных наноструктур.

Свидиненко Юрий

Пожалуйста, оцените статью:
Пока нет голосов
Источник(и):

PhysOrg: Trap and zap Harnessing the power of light to pattern surfaces on the nanoscale