Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2007»

Дата: 
01.10.2007 - 05.10.2007

С 1 по 5 октября 2007 года состоится Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2007» (ICMNE-2007)и совместный Симпозиум «Квантовая информатика» (QI-2007) в подмосковном пансионате «Липки», г. Звенигород.

icmne_01.jpg

Тематика докладов

  • Материалы для микро- и наноэлектроники. Кремний на изоляторе. Напряженный кремний, кремний-германий
  • Микро- и наноэлектронные технологии и оборудование
  • Суб-100нм литография: ГУФ, ЭУФ, электронная и ионная литография, импринт. Квантовая литография
  • Тонкие пленки. High-k и Low-k диэлектрики. Металлические затворы
  • Плазменные процессы
  • Имплантация
  • Эпитаксиальный рост. МВЕ
  • Мониторинг технологических процессов и детектирование момента их окончания в микро- и нанотехнологиях
  • Характеризация микро- и наностркутур
  • Моделирование технологических процессов и микро- и наноэлектронных приборов
  • Развитие микро- и наноэлектронных приборов. Нанотранзисторы: МДП, одноэлектронные
  • Квантовые эффекты в наноэлектронных приборах
  • Магнитные микро- и наноструктуры. Наномагнетики
  • Сверхпроводниковые микро- и наноприборы и устройства
  • Молекулярная наноэлектроника
  • Микро- и наноэлектромеханика

Организаторы и спонсоры конференции:

  • Российская академия наук (РАН).
  • Отделение информационных технологий и вычислительных систем
  • Научный совет «Фундаментальные проблемы создания элементной базы информационно-вычислительных и управляющих систем»
  • Министерство образования, науки и инноваций РФ. Управление информационных технологий
  • Российский фонд фундаментальных исследований
  • The International Society for Optical Engineering (SPIE), SPIE Russia Chapter
  • Физико-технологический институт РАН (ФТИАН), Москва, Россия
  • Московский государственный университет им. Ломоносова (МГУ), Россия
  • Автономная некоммерческая организация «Учебно-научный центр МГУ-ФТИАН»
  • Тихоокеанская академия материалов
  • Фраунгоферовский институт интегральных систем и развития технологии, Эрланген, ФРГ
  • Институт физики полупроводников РАН, Сибирское отделение, Новосибирск, Россия
  • Московский институт электронных технологий (ТУ МИЭТ), Зеленоград, Россия и др.

Контактная информация:

Лукичев Владимир Федорович – зам. председателя Оргкомитета ICMNE-2007

Физико-технологический институт (ФТИАН) Российская Академия наук 117218 Москва, Россия Нахимовский просп., 34

Тел.: +7 (495) 129–54–92 Факс: +7 (495) 125–38–26 E-mail: lukichev@ftian.oivta.ru

Тарасов Станислав Михайлович – член Секретариата ICMNE-2007

Физико-технологический институт (ФТИАН) Российская Академия наук 117218 Москва, Россия Нахимовский просп., 34

Тел./Факс: +7 (495) 331–20–55 E-mail: tarasov@ftian.oivta.ru

Руденко Константин Васильевич – ученый секретарь ICMNE-2007

Физико-технологический институт (ФТИАН) Российская Академия наук 117218 Москва, Россия Нахимовский просп., 34

Тел./Факс: +7 (495) 129–56–08

E-mail: icmne2007@ftian.oivta.ru

Сайт конференции: http://www.icmne.ftian.ru