ФЕДОТОВ А. А. РАЗРАБОТКА ЭЛЕМЕНТОВ НАНОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ НА ОСНОВЕ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК И ТЕХНОЛОГИИ ИХ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук, Таганрог – 2007, 16 c.

Работа выполнена в Технологическом институте Южного федерального университета в г. Таганроге на кафедре технологии микро- и наноэлектронной аппаратуры

Защита состоится 30 августа 2007 г. … в Технологическом институте Южного федерального университета в г. Таганроге по адресу: 347928, г. Таганрог, ул. Шевченко, 2, ауд. Е-306

Цель и задачи диссертационной работы

Целью диссертационной работы является разработка и моделирование чувствительных элементов приборов наносистемной техники на основе углеродных нанотрубок и технологических процессов их изготовления.

Для достижения реализации поставленной цели решались следующие задачи диссертационной работы:

= разработка конструктивно-технологического базиса изготовления наномеханического переключателя на основе углеродных нанотрубок;

= разработка математических моделей для исследования условий и режимов деформации чувствительных элементов приборов наносистемной техники на основе углеродных нанотрубок;

= разработка математической модели и проведение вычислительных экспериментов для определения конструктивных параметров наномеханического переключателя;

= разработка конструктивно-технологического базиса изготовления газочувствительного датчика на основе углеродных нанотрубок;

= разработка математической модели для исследования режимов работы газочувствительного датчика на основе углеродных нанотрубок;

= проведение экспериментальных исследований для определения метода получения углеродных нанотрубок, наиболее адаптированного к разработанным конструктивно-технологическим базисам;

= разработка технологических процессов и экспериментальные исследования режимов получения углеродных нанотрубок для формирования чувствительных элементов приборов наносистемной техники.

Научная новизна работы:

= проведен теоретический анализ возможности использования различных моделей чувствительных элементов на основе нанотрубок, позволяющий разработать методики и построить математические модели для определения конструктивных параметров наномеханического переключателя;

= разработана математическая модель чувствительного элемента приборов наносистемной техники на основе углеродных нанотрубок, которая позволяет анализировать условия и режимы деформации ЧЭ, учитывающая технологические и размерные факторы;

= разработан способ и технологический процесс формирования каталитических центров, на основе нанокластеров Fe и Со с размерами 5 – 50 нм, позволяющий вырастить углеродные нанотрубки диаметром 5 – 10 нм.

Практическая значимость:

= разработана конструкция интегрального микромеханического гироскопа на основе углеродных нанотрубок, защищенная Патентом РФ;

= разработаны технологические маршруты изготовления наномеханического переключателя и газочувствительного датчика на основе углеродных нанотрубок, совместимые с интегральной технологией микроэлектроники;

= разработаны технологические маршруты изготовления наномеханического переключателя и газочувствительного датчика на основе углеродных нанотрубок, основанные на использовании многофункционального сверхвысоковакуумного нанотехнологического комплекса НАНОФАБ…

Патенты

Положительное решение о выдачи патента РФ на изобретение по заявке №2006122379 от 22.06.2006 г. Интегральный микромеханический гироскоп на основе углеродных нанотрубок / Федотов А.А., Коноплев Б.Г., Лысенко И.Е.

http://www.znb.rsu.ru/…edotovAA.doc

Ну вот, с пылу, с жару… «Свежайшая» диссертация, которая ещё только будет защищаться в Таганроге через 3 недели. Между прочим, товарищ не просто разработал практический прибор, но и получил на него патент. Работают люди «на периферии», работают… Вот бы им и помочь: снабдить новейшим оборудованием, деньжат подкинуть… Тогда такие люди (увлечённые и целенаправленные) могут свернуть горы и принести славу любимой Родине.